采用SUPT直线电机，配置高精度光栅、磁栅和高精度导轨。
高速、高加速运行，运动平滑，稳定性好，精度高。
配置合适编码器和导轨，位置精度可达0.1-5um。
定位精度：±2um ，重复精度：±0.5um、直线度： ±3um。
平台结构可根据客户不同的技术要求加工定制。
采用无铁芯或有铁芯直线电机，配置高精度光栅、磁栅和高精度导轨。
高速、高加速运行，运动平滑，稳定性好，精度高。
配置合适编码器和导轨，位置精度可达0.1-5um。
定位精度：±2um ，重复精度：±0.5um、直线度： ±3um。
平台结构可根据客户不同的技术要求加工定制。
采用SUPT直线电机，配置高精度光栅、磁栅和高精度导轨。
高速、高加速运行，运动平滑，稳定性好，精度高。
配置合适编码器和导轨，位置精度可达0.1-5um。
定位精度：±2um ，重复精度：±0.5um、直线度： ±3um。
平台结构可根据客户不同的技术要求加工定制。
采用超薄有铁芯直线电机，配置高精度光栅和高精度交叉滚子导轨。
高速、高加速运行，运动平滑，稳定性好，精度高。
配置合适编码器和导轨，定位精度：±2um ，重复精度：±0.5um。
平台结构可根据客户不同的技术要求加工定制。
采用超薄有铁芯直线电机和DD直驱电机，配置高精度光栅和高精度交叉滚子导轨。
高速、高加速运行，运动平滑，稳定性好，精度高。
配置合适编码器和导轨，定位精度：±2um ，重复精度：±0.5um。
平台结构可根据客户不同的技术要求加工定制。
